%0 Journal Article %T حل تحلیلی برای تعیین ولتاژ ناپایداری کشیدگی، در میکرو ورق دایروی تحریک شده ی الکتریکی در حالت های یک طرفه و دوطرفه %J مجله ی مهندسی مکانیک شریف %I دانشگاه صنعتی شریف %Z 2676-4725 %A شوشتری, علیرضا %A سعادتمند, سیدمیلاد %D 2016 %\ 05/21/2016 %V 32.3 %N 1 %P 129-135 %! حل تحلیلی برای تعیین ولتاژ ناپایداری کشیدگی، در میکرو ورق دایروی تحریک شده ی الکتریکی در حالت های یک طرفه و دوطرفه %K ولتاژ کشیدگی %K میکروورق %K حل تحلیلی %R %X پدیده‌ی «کشیدگی» یک حالت بحرانی است که در بسیاری از وسایل میکروالکترومکانیک مانند حسگرها، عملگرها و سوئیچ‌های میکروالکترونیک اتفاق می‌افتد. تعیین ولتاژی که این پدیده در آن رخ می‌دهد ظرفیت و محدوده‌ی بهره‌برداری این‌گونه وسایل را مشخص می‌کند. در تحقیقات گذشته، با استفاده از روش‌های شبیه‌سازی جرم فشرده، گسسته‌سازی سیستم و نیز تحلیل‌های آزمایشگاهی، برای تعیین ولتاژ کشیدگی میکروورق دایروی کارهایی انجام شده است. در این مقاله، ابتدا معادله‌ی ولتاژٓـ جابه‌جایی عرضی یک میکروورق گیردار دایروی در حالت‌های یک‌صفحه پشتیبان و دوصفحه پشتیبان، و براساس نظریه‌ی غیرخطی ون کارمن و نظریه‌ی کلاسیک ورق به دست آمده است. سپس روابط تحلیلی برای ولتاژ کشیدگی استاتیکی که باعث ناپایداری و خرابی سیستم می‌شود استخراج شده است. ولتاژ کشیدگی به دست آمده از این روابط ۱٫۳ برابر ولتاژ کشیدگی حاصل از کاربرد روش گسسته‌سازی و شبیه‌سازی جرم فشرده است. به‌منظور صحه‌گذاری نتایج به دست آمده، شبیه‌سازی اجزاء محدود برای حالت یک‌صفحه پشتیبان، با استفاده از نرم‌افزار A‌N‌S‌Y‌S انجام شده که نشان می‌دهد انطباق بسیار خوبی با نتایج روابط تحلیلی دارند. همچنین مقایسه‌ی حل تحلیلی با نتایج آزمایشگاهی تحقیقات پیشین مشخص می‌سازد که تفاوت‌ها ناچیز و قابل چشم‌پوشی است. در انتها اثرات پارامترهای هندسی بر ولتاژ کشیدگی بررسی شده است. %U https://sjme.journals.sharif.edu/article_6336_7264912510eec5b9eac34c8ac2d7da79.pdf